鈦靶材清潔的目的是清理目標表麵可能存在的灰塵或汙垢，一般可分四步清洗：
       1、清洗浸泡在丙酮中的無天鵝絨軟布。
       2、類似於用酒精清洗；
       3、用去離子水清洗。用去離子水清洗後，把目標放在烤箱裏，在100攝氏度下烘幹30分鍾。建議用"無天鵝絨布"清潔氧化物和陶瓷靶材。
       4、用高壓和低濕度氬衝洗 鈦靶材，除去可能在濺射係統中產生電弧的雜質顆粒。